等離子清洗機(jī)在LCD行業(yè)ITO玻璃清洗中的應(yīng)用

文章出處：本站 | 網(wǎng)站編輯：深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2022-04-16

LCD的COG組裝過程，是在ITO玻璃上貼裝IC裸片，利用金球的變形與壓縮來使ITO玻璃上的引腳與IC芯片上的引腳導(dǎo)通。由于精細(xì)線路不斷發(fā)展的技術(shù)，目前已經(jīng)發(fā)展到生產(chǎn)Pitch為20μm、線條為10μm的產(chǎn)品。這些精細(xì)線路電子產(chǎn)品的生產(chǎn)與組裝，對(duì)ITO玻璃的表面清潔度要求非常高，要求產(chǎn)品的可焊接性能好、焊接牢固、不能有任何有機(jī)與無機(jī)的物質(zhì)殘留在ITO玻璃上來阻止ITO電極端子與ICBUMP的導(dǎo)通性，因此，對(duì)ITO玻璃的清潔顯得非常重要。在目前的ITO玻璃清潔工藝中，大家都在嘗試?yán)酶鞣N清洗劑(酒精清洗、棉簽+檸檬水清洗、超聲波清洗)進(jìn)行清洗，但由于清洗劑的引入，會(huì)導(dǎo)致因清洗劑的引入而帶來其他的相關(guān)問題，因此，探索新的清洗方法成為各廠家的努力方向。通過逐步的試驗(yàn)，利用等離子清洗機(jī)來對(duì)ITO玻璃進(jìn)行表面清潔，是比較有效的清潔方法。

在對(duì)LCD液晶玻璃進(jìn)行的等離子清洗中，使用的活化氣體是氧的等離子體，它能除去油性污垢和有機(jī)污染物粒子，因?yàn)?b>氧等離子體可將有機(jī)物氧化并形成氣體排出。通過洗凈工藝后的電極端子與顯示器，增強(qiáng)了偏光板粘貼的成品率，并且電極端與導(dǎo)電膜間的粘附性也大大改善，從而改善了產(chǎn)品的質(zhì)量及其穩(wěn)定性。

等離子清洗機(jī)清洗原理

等離子清洗機(jī)實(shí)際是高精度的干法清洗設(shè)備，它的清洗范圍為納米級(jí)別的有機(jī)和無機(jī)污染物。LCD行業(yè)中的ITO玻璃在運(yùn)送和濕法清洗后，表面殘留的有機(jī)溶液和無機(jī)顆粒，成為影響IC貼合到ITO玻璃上的主要因素。在等離子清洗應(yīng)用中，主要是利用低壓氣體輝光等離子體。一些非聚合性無機(jī)氣體(Ar、N2、H2、O2等)在高頻低壓下被激發(fā)，產(chǎn)生含有離子、激發(fā)態(tài)分子，自由基等多種活性粒子。一般在等離子清洗中，可把活化氣體分為兩類，一類為惰性氣體的等離子體(如Ar、N2等);另一類為反應(yīng)性氣體的等離子體(如O2、H2等)。這些活性粒子能與表面材料發(fā)生反應(yīng)，其反應(yīng)過程如下:電離———氣體分子———激發(fā)———激發(fā)態(tài)分子———清洗———活化表面。等離子產(chǎn)生的原理如下:給一組電極施加射頻電壓(頻率約為幾十兆赫茲)，電極之間形成高頻交變電場(chǎng)，區(qū)域內(nèi)氣體在交變電場(chǎng)的激蕩下，產(chǎn)生等離子體?；钚缘入x子對(duì)被清洗物進(jìn)行表面物理轟擊與化學(xué)反應(yīng)雙重作用，使被清洗物表面物質(zhì)變成粒子和氣態(tài)物質(zhì)，經(jīng)過抽真空排出，而達(dá)到清洗目的。

LCD工藝水平飛速發(fā)展，LCD制造技術(shù)極限不斷受到挑戰(zhàn)并發(fā)展，已成為代表先進(jìn)制造技術(shù)的前沿技術(shù)。在清洗行業(yè)對(duì)清洗的要求也越來越高，常規(guī)清洗已經(jīng)不能滿足要求，在軍用技術(shù)以及半導(dǎo)體行業(yè)中尤其如此，等離子清洗機(jī)比較理想地解決了這些精密清洗的要求，又符合當(dāng)今環(huán)保的形勢(shì)。

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