中頻等離子清洗機(jī)是什么意思？

文章出處：等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2024-04-01

等離子清洗機(jī)按照等離子發(fā)生器的激發(fā)頻率不同大致上可分為，40KHz(中頻等離子清洗機(jī))、13.56MHz(射頻等離子清洗機(jī))和2.54GHz(微波等離子清洗機(jī))三種。中頻等離子清洗機(jī)，指的就是等離子發(fā)生器激發(fā)頻率為40KHz的等離子清洗機(jī)。

等離子清洗機(jī)放電頻率的不同，會(huì)對(duì)等離子體攜帶的能量、單位時(shí)間內(nèi)產(chǎn)生的活性自由基和活性原子有著很大的影響，同時(shí)不同頻率下的等離子體對(duì)改性材料表面作用也不相同。

等離子清洗機(jī)電源激勵(lì)頻率與離子密度、電源頻率與等離子體自偏壓之間及的大致關(guān)系：頻率越高，等離子體離子密度越高；頻率越高，自偏壓越低。

中頻：自偏壓高，等離子體密度較低，離子能量高，容易產(chǎn)生較高的工藝溫度和不必要的濺射；
射頻：自偏壓偏低，等離子密度較高，離子能量較高；
微波：無(wú)自偏壓，離子濃度最高，能量最低，均勻性較差。

等離子體清洗類型對(duì)清洗效果具有一定的影響。中頻等離子體發(fā)生的反應(yīng)主要為物理反應(yīng),利用等離子轟擊被清潔表面去除污染物,但同時(shí)會(huì)使表面產(chǎn)生一定損傷;射頻等離子體發(fā)生的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學(xué)反應(yīng);微波等離子體發(fā)生的反應(yīng)主要為化學(xué)反應(yīng),清潔力度較小。

等離子體物理清洗可使材料表面的粗糙度增加，有助于提高材料表面的附著力；等離子體化學(xué)清洗可以顯著增加材料表面的含氧、含氮以及其他類型的活性基團(tuán)，有助于改善材料的表面浸潤(rùn)性。

中頻等離子清洗機(jī)因?yàn)殡x子能量高，適合用來(lái)對(duì)高分子材料表面改性，也被常用來(lái)做刻蝕。