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半導(dǎo)體封裝在線式等離子清洗機

  • 產(chǎn)品型號:NE-OPE1000
  • 性能特點:獨立片式清洗,全自動運行
  • 產(chǎn)品用途:引線框架、LED支架清洗
  • 產(chǎn)品介紹
  • 產(chǎn)品參數(shù)
在線式等離子清洗機總體分為四個部分:設(shè)備主體、上下料系統(tǒng)、物料傳輸系統(tǒng)和等離子清洗系統(tǒng)。該設(shè)備采用適應(yīng)于引線框架全自動清洗運行方式,針對半導(dǎo)體封裝中引線框架上點膠裝片、芯片鍵合及塑封等工藝前清洗,大大提高粘接及鍵合強度等性能的同時,避免人為因素長時間接觸引線框架而導(dǎo)致的二次污染以及腔體式批量清洗時間長有可能造成的芯片損傷,適用于大規(guī)模生產(chǎn)的在線式引線框架清洗設(shè)備,解決了集成電路制造過程中設(shè)備人力成本高、生產(chǎn)效率低等技術(shù)難題。

工藝流程:
1)將裝滿引線框架的4個料盒放置在置取料平臺上,推料機構(gòu)將第一層料片推出至上下料傳輸系統(tǒng)。
2)上下料傳輸系統(tǒng)通過壓輪及皮帶傳輸將料片傳輸?shù)轿锪辖粨Q平臺的高臺上,通過撥料系統(tǒng)進行定位。
3)接好料片的平臺交換至等離子反應(yīng)腔室下方,通過提升系統(tǒng)將真空腔室閉合抽進行等離子清洗。當高臺傳輸?shù)角逑次粫r,低臺傳輸?shù)浇恿衔恢眠M行第二層的接料。高臺清洗結(jié)束后與低臺交換位置,低臺進行等離子清洗,高臺到接料位置進行回料。
4)物料交換平臺上的料片由撥料系統(tǒng)撥到上下料傳輸系統(tǒng)上,通過壓輪和皮帶傳回料盒,完成一個流程。推料機構(gòu)推下一層料片,進行下一個流程。

產(chǎn)品特點:
在線式等離子清洗采用自動的清洗方式,適用于大規(guī)模的生產(chǎn)線,節(jié)省人工,降低勞動力成本;
整個工藝流程50s內(nèi)即可完成,使清洗效率獲得極大的提高,優(yōu)勢最為明顯;
每條軌道的寬度可調(diào),可兼容不同規(guī)格尺寸的產(chǎn)品;
獨立片式清洗,清洗均勻性大幅度提升;

作為一種精密干法清洗設(shè)備,等離子清洗機可以有效去除半導(dǎo)體封裝工藝過程中的污染物,改善材料表面性能,增加材料表面能量。與傳統(tǒng)獨立式的等離子清洗設(shè)備相比,在線式等離子清洗設(shè)備具有自動化程度高、清洗效率高、設(shè)備潔凈度高、適應(yīng)范圍廣等優(yōu)點,適用于大規(guī)模全自動化生產(chǎn)。


型號 NE-OPE1000在線式等離子清洗機
整機尺寸 L*W*H:2000mm* 1200mm* 1700mm
電源 1PH220V、40A、50 Hz
壓縮空氣 0.4-0.6MPa
環(huán)境需求 溫度:15~25℃濕度:40~60%
制程氣體 標配Ar
射頻電源 1KW,13.56MHz
真空泵  干泵
控制系統(tǒng) PC+人機界面
可清洗產(chǎn)品規(guī)格  產(chǎn)品長度:120mm-270mm,產(chǎn)品寬度:40mm-83mm

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