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晶圓等離子清洗機(jī)

6-8-12寸晶圓等離子清洗機(jī)

  • 產(chǎn)品型號(hào)：NE-PE20F
  • 性能特點(diǎn)：體積小巧，清洗效率高
  • 產(chǎn)品用途：12寸及以下晶圓清洗活化
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NE-PE20F晶圓等離子清洗機(jī)是一款機(jī)型緊湊，占地面積小，但處理效率高的表面等離子體清洗設(shè)備，適用于12寸及以下晶圓清洗，其工作原理為在接近真空的環(huán)境下，通過(guò)射頻電源使內(nèi)部殘余氣體分子電離，產(chǎn)生等離子體，這些等離子體在電場(chǎng)下加速，之后做高速運(yùn)動(dòng)，和被清洗的晶圓表面發(fā)生物理碰撞，將表面的污染物去除。等離子體清洗不但可以清洗晶圓表面，還可以提高表面活性，提高材料表面粘接能力，提高焊接能力，親水性等，這種清洗技術(shù)在去膠工藝中具有操作方便、效率高、表面干凈、無(wú)劃傷等特點(diǎn)，優(yōu)勢(shì)十分明顯。

視頻展示：



工藝能力：
晶圓尺寸：8-12寸及以下（含不規(guī)則）
晶圓材料：SOI、SI、玻璃、銅片等其他半導(dǎo)體材料
正性及負(fù)性光刻膠去膠。
SU-8負(fù)性光刻膠去膠。
聚酰亞胺光刻膠（PI）去膠。
有機(jī)物去除。
基片表面等離子改性（02\Ar）

晶圓等離子清洗工藝流程
先將待清洗的半導(dǎo)體晶圓碼放在等離子清洗的清洗室內(nèi)，對(duì)清洗室進(jìn)行抽真空直至清洗室內(nèi)的真空度達(dá)到設(shè)定值，然后充入工作氣并將清洗室內(nèi)的真空度保持在設(shè)定值；開(kāi)啟高頻電源，對(duì)清洗室內(nèi)的氣體進(jìn)行電離，對(duì)在清洗室內(nèi)的半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行清洗；清洗完成后，關(guān)閉高頻電源，向清洗室內(nèi)充入保護(hù)氣直至清洗室內(nèi)的內(nèi)氣壓達(dá)到常壓后，將清洗完成后的半導(dǎo)體晶圓從清洗室內(nèi)取出。所述等離子清洗工藝能夠?qū)饪棠z殘污有效去除，去除效果好，去污速率高，去污的均勻性能得到保證。

典型使用案例：
SU-8負(fù)性光刻膠去膠圖示
晶圓等離子清洗去膠圖示

等離子清洗測(cè)試數(shù)據(jù)：
晶圓等離子清洗測(cè)試數(shù)據(jù)
 
晶圓等離子清洗原理：
等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，是除了固體，液體和氣體之外的狀態(tài)，也可以稱(chēng)作是物質(zhì)的第四態(tài)。等離子體中含有多種物質(zhì)：處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子，處于激活狀態(tài)的原子、分子、原子團(tuán)(自由基)，離子化的原子、分子，分子解離過(guò)程中生成的紫外線，未反應(yīng)的原子、分子等。等離子體雖然仍保持電中性，但具有很高的物理化學(xué)反應(yīng)活性。等離子清洗技術(shù)就是利用這些活性組分來(lái)清洗晶圓表面的。
 
等離子清洗包括物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)兩個(gè)方面：一方面利用高能粒子流轟擊晶圓表面，使晶圓表面吸附的雜質(zhì)解吸；另一方面是利用活性粒子(如自由基)與晶圓表面的沾污發(fā)生化學(xué)反應(yīng)并生成易揮發(fā)的物質(zhì)，然后利用技術(shù)手段將生成的易揮發(fā)物質(zhì)帶走，其中氧離子可以將有機(jī)污染物氧化，其產(chǎn)物以二氧化碳和水蒸氣的形式排出。常用于清洗的等離子體有NF3、H2及Ar等，利用這些等離子體可以實(shí)現(xiàn)多種類(lèi)型污染物的有效清洗。

等離子體清洗具有許多優(yōu)點(diǎn)：
(1) 工藝簡(jiǎn)單、操作方便：清洗過(guò)程不需要清洗液的參與，因此省略了濕法清洗的相關(guān)操作；
(2) 綠色環(huán)保：清洗過(guò)程中沒(méi)有廢液和廢水處理，不會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染；
(3) 適應(yīng)范圍廣：既能對(duì)有機(jī)材料也能對(duì)無(wú)機(jī)材料進(jìn)行清洗；
(4)清洗效果好：

晶圓等離子清洗機(jī)常用于去除晶圓表面處理上的微粒、徹底去除光刻膠和其他有機(jī)物、活化及粗化晶圓表面、提高晶圓表面浸潤(rùn)性等，等離子清洗機(jī)在晶圓表面處理上的處理效果明顯，目前在晶圓加工中普遍使用。
型號(hào) NE-PE20F晶圓等離子清洗機(jī)
容積 約20L
等離子發(fā)生器頻率 13.56MHz
質(zhì)量流量計(jì) 0-50cc/min
真空傳感器 愛(ài)發(fā)科皮拉尼真空計(jì)
設(shè)備應(yīng)用 去膠清洗活化處理
控制系統(tǒng) PLC 控制系統(tǒng)，觸摸屏全自動(dòng)控制
氣體通道 2路工藝氣體通道，可通氧氣、氬氣等
射頻系統(tǒng) 0-300W，自動(dòng)抗阻抗匹配
腔體尺寸 380(L)×375(D) ×150(H)mm
外形尺寸 645mm(L)×574mm(W) ×655 mm(H)

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