型號 | NE-Q15等離子清洗機 |
功率 | 0-500W連續(xù)可調(diào) |
頻率 | 13.56 MHz 固態(tài)射頻電源 |
匹配器 | 數(shù)字全自動阻抗匹配 |
腔體材質(zhì) | 石英耐熱玻璃 |
腔體容積 | 15L |
腔體直徑(圓形) | Φ250×300(D)mm |
氣體流量 | 2路(氧氣、氧氣、氮氣、氫氣等) |
極限真空度 | 1PA |
控制系統(tǒng) | PLC+觸摸屏 |
電源供應(yīng) | 220V |
重量 | 70KG |
外形尺寸 | 755mm(L)×825mm(W) ×1550 mm(H) |