根據(jù)不同的標準，等離子體有不同的分類方法。根據(jù)是否有人為的因素將其分為自然等離子體(廣泛存在于宇宙空間)和人工等離子體(人們根據(jù)自己的意愿在特定環(huán)境下人工制造出來的，它是人們對等離子體研究和應用的結(jié)果)。
根據(jù)電離程度可分為完全電離、部分電離和弱電離三種。
根據(jù)等離子體活性粒子密度的不同可分為稠密等離子體和稀薄等離子體。
可以根據(jù)不同方法產(chǎn)生的等離子體來分類,由不同方法產(chǎn)生的等離子體其性能很不相同，并有不同的用途。
等離子體分類
在等離子體應用于材料表面改性的技術(shù)，根據(jù)等離子體放電氣壓的不同，分為低壓等離子體和常壓等離子體。
低壓等離子體制備時使用的氣體稀薄，它的壓力只有幾百個帕斯卡，當采用直流電壓或高 頻電壓做電場時，由于電子的質(zhì)量很小，在電場中容易得到 加速，從而可獲得平均可達數(shù)電子伏特的高能量，而離子由 于質(zhì)量較大很難被電場加速，由于氣體粒子溫度較低(具有 低溫特性)，因此把這種等離子體又稱為低溫等離子體。由 于氣體密度很低所以用溫度計測得的溫度與外界環(huán)境的溫度 相差無幾，所以實際上是低溫等離子體。 常壓等離子體，當使用的氣體密度較高，它的壓強處于 接近常壓狀態(tài)并從外界給它大量能量時，粒子之間的相互碰 撞頻率大大增加，各種微粒的溫度大大提高,所以把這種條 件下得到的等離子體又稱為高溫等離子體，太陽就是自然界 中的高溫等離子體。目前投人使用的主要是低溫等離子體, 但接近常壓的等離子體的應用正在增加。
根據(jù)產(chǎn)生等離子體時使用的氣體的化學性質(zhì)不同，可分為不活潑氣體等離子體和活潑氣體等離子體兩類，不活潑氣體如氫氣(Ar)、氮氣(N2)、氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4)等,活潑氣體如氧氣(O2)、氫氣(H2)等,不同類型的氣體在清洗過程的反應機理是不同的，活潑氣體的等離子體具有更強的化學反應活性。
大多數(shù)情況下，等離子體是按照溫度來分類的:可將等離子體分為高溫等離子體和低溫等離子體。高溫等離子體，如太陽、受控熱核聚變等離子體和激光聚變等離子體等，其熱力學溫度為106-108K，又稱為完全熱力學平衡等離子體。其中，按熱力學性質(zhì)的不同，低溫等離子體又可以分為熱平衡等離子體和非熱平衡等離子體。二者的的界線就是等離子體電離時的溫度和主體溫度（宏觀溫度）的區(qū)別，非熱力學平衡等離子體的宏觀溫度遠小于等離子體電離時的電子溫度，所以又稱冷等離子體電子溫度，其中Te為3×102-105K。當?shù)入x子體的中性粒子溫度與電子溫度局部達到熱力學平衡時，我們把這種等離子體叫局部熱力學平衡(Local Thermodynamic Equilibrium，LTE)等離子體，其熱力學溫度為103-105K。近年來，低溫等離子體技術(shù)廣泛應用在化學合成反應、聚合反應、等離子體鍍膜、表面處理和功能膜制備等領域。例如：電暈放電等離子體技術(shù)的表面處理，濺射制膜和輝光放電催化反應等，已取得不少成就。特別值得注意的是，由于受到熱力學平衡條件的限制，某些化學反應在一般條件下不可能或難以進行，但利用非平衡等離子體可使反應在低溫下獲得高能量，激活反應分子，進而形成活性原子、離子和自由基等活性物種，從而使得反應能夠在較緩和的環(huán)境下進行。
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