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等離子鞘層


等離子鞘層是等離子體的重要特征，表征了等離子的電位分布和靜電場(chǎng)效應(yīng)。以電容耦合式等離子為例，帶電粒子（電子、離子）在電場(chǎng)作用下向基板運(yùn)動(dòng)，由于電子質(zhì)量輕、移動(dòng)速度快，一部分電子到達(dá)基板后，與正離子結(jié)合成氣體分子，剩下的部分在基板附近形成了負(fù)電荷區(qū)，負(fù)電荷區(qū)吸引正離子，排斥電子，當(dāng)正離子和電子移動(dòng)的速度相同后，在基板附近就形成了一定區(qū)域的負(fù)電位，稱(chēng)之為“等離子鞘層”。
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